เซ็นเซอร์ก๊าซสูญญากาศ pirani เซ็นเซอร์ H2 XEN-3880-RW การนำความร้อน

 มาตรวัดการนำความร้อน XEN-3880-RW วัดค่าการนำความร้อนของก๊าซโดยรอบ บนหลักการที่ว่าก๊าซแตกต่างกันในการนำความร้อนของพวกเขามันสามารถใช้ในการวัดความเข้มข้นของก๊าซในส่วนผสมแบบไบนารีหรือแบบกึ่งไบนารีที่ก๊าซส่วนประกอบมีค่าการนำความร้อนที่แตกต่างกัน มันยังสามารถใช้ในการวัดความดันในระบบสูญญากาศ

ชิปเซ็นเซอร์ประกอบด้วยกรอบซิลิกอนที่มีเมมเบรนซิลิกอนไนไตรด์ ตรงกลางเป็นฮีตเตอร์ที่มีเทอร์โมไซล์วัดอุณหภูมิ ชิปจะวัดค่าการนำความร้อนระหว่างสภาพแวดล้อมและศูนย์กลางของเมมเบรน

ฝาปิดซิลิกอน (หลังคา) ที่ด้านบนของเมมเบรนและฝาปิดเชื่อมที่มีตัวกรอง (W) ระงับความไวในการไหล

คุณสมบัติ

• การวิเคราะห์ก๊าซในระยะยาวที่มีเสถียรภาพในส่วนผสมไบนารีและกึ่งไบนารี

• ความไวและความละเอียดสูง

• อุณหภูมิในการทำงาน: -250 ℃ ถึง150 ℃

• ความชื้น: 0ถึง95% RH ไม่ควบแน่น

• ความไวต่อการไหลเล็กน้อย

แอปพลิเคชั่นบางอย่าง

• การวัดไฮโดรเจนฮีเลียมและก๊าซธรรมชาติ

• การทดสอบระบบไฮโดรเจนด้วยฮีเลียม

• การวัดสูญญากาศในบรรจุภัณฑ์และระบบสูญญากาศ

• การวัดความเข้มข้นของก๊าซ

ข้อกำหนดทางเทคนิค

อุณหภูมิแวดล้อม22 ℃ และ1 V แหล่งจ่ายไฟ