




1.ภาพรวมผลิตภัณฑ์
ชุด AGP21เป็นเครื่องวัดสูญญากาศฟิล์มบางความจุที่มีความแม่นยำสูงโดยใช้วัสดุอินโนเนลทนต่อกระบวนการกัดกร่อนมีความแม่นยำสูงเวลาในการตอบสนองที่รวดเร็วและความเสถียรในระยะยาวเพื่อตอบสนองความต้องการของแอพพลิเคชั่นควบคุมกระบวนการที่สำคัญในปัจจุบัน
ชุด AGP21รองรับการสลับของ [Pa], [Torr] และ [mBar] 3ยูนิตทั่วไปและมีอินเทอร์เฟซแรงดัน KF16มาตรฐาน สามารถเลือกอะแดปเตอร์ที่แตกต่างกันได้ตามความต้องการเพื่อให้แน่ใจว่าการเชื่อมต่อกับอุปกรณ์และระบบต่างๆทำได้ง่าย
ความแม่นยำความสามารถในการทำซ้ำเวลาในการตอบสนองและตัวชี้วัดอื่นๆของชุด AGP21ได้รับการทดสอบอย่างเข้มงวดก่อนออกจากโรงงาน
2.ขอบเขตการใช้งาน
ชุด AGP21ถูกใช้ในเซมิคอนดักเตอร์โซลาร์เซลล์ปิโตรเคมีการฆ่าเชื้อสูญญากาศบรรจุภัณฑ์สุญญากาศและอุตสาหกรรมอื่นๆโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการที่สำคัญต่อการวัดความต้องการของความดันสูญญากาศต่ำเช่นกระบวนการเคลือบ pecvd/ALD, การกัดพลาสมาและกระบวนการอื่นๆ
พารามิเตอร์ |
คำอธิบาย |
||||
โมเดล |
AGP2110 |
AGP2111 |
AGP2112 |
AGP2113 |
|
ช่วงการวัด |
0 ~ 1Torr |
0 ~ 10Torr |
0 ~ 100Torr |
0 ~ 1000Torr |
|
ความแม่นยำ |
±0.3%การอ่าน |
||||
เวลาตอบกลับ |
≤ 60ม.S |
||||
เอฟเฟกต์อุณหภูมิ |
จุดศูนย์ |
0.01% FS/℃ |
|||
|
เต็มช่วง |
การอ่าน0.04%/℃ |
|||
แรงดันไฟฟ้า |
15 ~ 30VDC |
||||
สัญญาณเอาต์พุต |
RS485,0 ~ 10VDC |
||||
อินเตอร์เฟซแรงดัน |
KF16 (อะแดปเตอร์ตัวเลือกสำหรับ KF16ตัวเชื่อมต่ออื่นๆ) |
||||
อินเตอร์เฟซการสื่อสาร |
DB9 (ไม่จำเป็น) |
||||
หน่วย |
PA, Torr, mBar |
||||
วัสดุสภาพแวดล้อมการสัมผัส |
304สแตนเลสวัสดุ Inconel |
||||
อุณหภูมิในการทำงาน |
5 ~ 50 ℃ |
||||
แรงดันโหลด |
300KPa |
||||
เวลาอุ่นเครื่อง |
15นาที |
ทุกการชำระเงินที่คุณทำบน Cooig.com มีความปลอดภัยด้วยการเข้ารหัส SSL และโปรโตคอลการป้องกันข้อมูล PCI DSS ที่เข้มงวด
ขอรับเงินคืนหากคำสั่งซื้อของคุณไม่ได้จัดส่ง สูญหาย หรือสินค้าที่มาถึงมีปัญหาที่ตัวผลิตภัณฑ์